プラスチック光集積回路の作製I
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概要
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プラスチック材料を使用し, 加工が容易で柔軟性のある大面積光集積回路ボードを目指して, プラスチック光導波路の作製を行った. 材料には, ポリイミド及びPMA/FM, PMMA等のプラスチック材料を使用した. 又, 光の通り道として最も重要となるコアの形成には微細加工技術であるフォトリソグラフィ及びドライエッチングを用いて行い, 光の導入出面の形成には, 従来の劈開やダイシングソーとは違い, コア形成時同様にドライエッチング技術を用いて, よりシャープな端面形成を行った. その結果ポリイミドもPMMAもドライエッチング技術を用いて, 大面積光集積回路を作成できることが分かった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-06-13
著者
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