透過型光音響法によるポーラスシリコン膜の熱物性評価
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概要
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ポーラス化したシリコン(PS)は発光効率が高く、発光波長が変えられ、室温でシリコン(Si)のバンドギャップよりかなり大きいエネルギーの可視発光をするため、将来のSiを用いた光・電子デバイス開発への応用が期待されている。また、PSの熱伝導率はSiのそのものより二桁小さいため、新しい熱絶縁層材料としても注目されている。これらの応用にはPSの光物性と熱物性の評価は必要かつ重要である。光音響分光法(PAS)は、光励起後の無輻射遷移緩和による熱エネルギーを測定するため、半導体の熱物性と電子物性を評価することに有効である。今回、我々が透過型光音響分光法をPS/Si二層構造試料に適用し、その実効的な熱拡散率を測定した。PS膜の多孔度によるその熱拡散率の変化について検討を行った。
- 2001-12-12
著者
-
豊田 太郎
電気通信大学
-
Shen Qing
Department Of Applied Chemistry Faculty Of Engineering University Of Tokyo
-
沈 青
電気通信大学:jstさきがけ
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