レーザー蒸着法によるCo合金薄膜媒体の作成
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概要
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レーザー蒸着法によりCo合金系薄膜媒体を作成し,結晶構造および磁気特性を評価した。基板温度250℃でSi基板上にレーザー蒸着したCo合金, Cr膜の表面は微視的に平滑であり、結晶粒径は5〜10nmと微細であった。Co_89>Cr_7Pt_4磁性膜はfcc型の結晶構造を有し、保磁力は1300eとスパッタリング法により形成したhcp構造のCoCrPt膜の約1/5であった。fcc構造のCo合金膜が形成される原因は蒸着粒子のエネルギーが約100eVと高く,高温相(fcc)がクエンチされるためと考えられる。基板温度を450℃として成膜すると,Cr下地膜の結晶配向性が向上するとともにCo合金膜がhcp型となり,8000eの保磁力が得られた。
- 1994-09-22
著者
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