スピンバルブ材料の物性 : 成膜法及び反強磁性材料依存性と熱処理効果
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概要
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近年、HDDの面記録密度は年率約60%で上昇しており、2000年には10Gbits/inch^2を越えると推測されている。記録密度の向上には、磁気ディスクからの微小な信号磁界を高精度に検出することが必要であり、磁気抵抗効果型(MR)ヘッドの高感度化・高出力化が求められている。巨大磁気抵抗(GMR)効果は、磁性材料/非磁性材料の界面で生じる伝導電子の散乱現象を抵抗変化の起源としており、より高いMR特性を有している。本稿では、次世代再生ヘッドへの搭載が期待されているスピンバルブ型GMR材料の物性について、成膜法, 材料及び熱処理条件依存性を紹介する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-01-24
著者
-
梅本 卓史
三洋電機ニューマテリアル研
-
山野 耕治
三洋電機ニューマテリアル研
-
前田 篤志
三洋電機ニューマテリアル研
-
久米 実
三洋電子部品(株)
-
及川 悟
三洋電機(株)
-
前田 篤志
新技術開発事業団黒田団体表面プロジェクト
-
田沼 俊雄
三洋電機(株)
-
及川 悟
三洋電機株式会社 ニューマテリアル研究所
-
梅本 卓史
三洋電機株式会社 ニューマテリアル研究所
-
山野 耕治
三洋電機株式会社 ニューマテリアル研究所
-
前田 篤志
三洋電機株式会社 ニューマテリアル研究所
-
田沼 俊雄
三洋電機株式会社 ニューマテリアル研究所
-
久米 実
三洋電機株式会社 ニューマテリアル研究所
-
前田 篤志
三洋電機(株)二ユーマテリアル研究所
-
山野 耕治
三洋電機株式会社
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