光ディスクメモリ用リソグラフィー技術の現状(IT革命に向けたリソグラフィー技術論文<小特集>)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
光ディスクの原盤にピットを形成する技術を概説した.光ディスクの原盤記録では, レーザを高NAレンズで絞り, レジストが塗布された回転する原盤に対して記録レンズを半径方向に移動させら旋状にピットを記録していく.スポットの焦点深度が±0.1μm程度しかないため, ガラス盤の上下動に追従するフォーカスサーボが必要になる.露光部の光量分布とレジストの感度特性に対応した断面形状のピットが現象後に得られる.DVDの場合最短ピット長は0.4μm, トラックピッチは0.74μmである.次世代の高密度光ディスクのために, より小さなピットを形成するための技術開発も始まっており, それらの動向も紹介した.
- 2001-12-01
著者
-
佐野 一彦
松下電器産業株式会社ディスクシステム開発センター
-
吉田 英博
松下電器産業(株)生産技術本部
-
吉田 英博
松下電器産業株式会社生産技術研究所
-
佐野 一彦
松下電器産業株式会社生産技術研究所
関連論文
- VHD/AHD方式ビデオディスクのレーザーカッティングマシン
- VHD/AHDビデオディスクのレーザーカッティングマシン
- 光ディスクメモリ用リソグラフィー技術の現状(IT革命に向けたリソグラフィー技術論文)
- インピーダンス制御に基づく双腕マニピュレータの協調制御
- 高精度フォーカスアクチュエータの開発
- 複数のマニピュレータによる薄板の変形制御 (ロボットの知能化)
- 双腕マニピュレータによる薄板のマニピュレーション