水熱法によるPZNTZ膜の生成とアクチュエータ特性
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概要
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本論文は金属チタン板上に水熱合成で成膜したペロブスカイト型結晶構造からなるPb[(Zn_<1/3>Nb_<2/3>), Ti, Zr]O_3系圧電体の成膜とアクチュエータ特性について述べる.得られた圧電体膜の圧電定数d_<31>は焼結法で作製した圧電セラミックスの約1/2程度であった.水熱合成の反応温度は比較的低温度の413K以下であることを確認した.金属チタン板上に形成されたPZNTZ膜の組成は初期の成膜温度条件により大きく左右されることが判明した.またPZNTZ膜で覆われたアクチュエータとしての音叉は線形性に優れた共振特性を示した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-05-25
著者
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