積層圧電体セラミックスのAg-Pd電極とアクチュエータ特性
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概要
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本論文はアクチュエータの圧電体セラミックスPb(Zn_<1/3>Nb_<2/3>)_<0.125>Ti_<0.49>Zr_<0.385>O_3+MnO_21.0mass%+Al_2O_30.5mass%(以下PZNTZと称する)の積層に用いるAg-Pd電極に関するものである.Ag-Pd電極にPZNTZを0.1mass%以上添加することにより, 電極の剥離強度は向上した.また, 電極の抵抗値も大きく変化せず, 電極の機能として阻害されないことがわかった.PZNTZの添加効果の主要因は電極と圧電体との界面で生じる電極の濡れ性低下と焼結収縮に伴う電極の水平面方向の流動性低下によるものと思われる.PZNTZを添加したAg-Pd電極を内装電極に用いた積層圧電体セラミックスの音叉は25μmの大振幅振動の環境下で, 共振周波数変化も小さく線形動作特性に優れていることがわかった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-11-25
著者
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