mAオーダーIddqテスト手法開発と製品適用結果(LSIシステムの実装・モジュール化技術及びテスト技術,一般)

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概要

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システムLSIの微細化に伴い、従来の論理レベルのテストで検出困難な不良が増加し、異常電流により不良検出するIddqテストの重要性が高まっているが、正常品でも室温で1〜数mAのIddq値が普通となり、有効な不良検出が困難となっていた。今回、プロセスマージンサンプル評価結果に基づいて測定ポイントのグループ化・Iddq値のfittingを行ない、誤判定の少ない良否判定方法を採用することにより、プロセスばらつきも考慮して100μA@1mA〜150μA@3mAの実用的な異常電流検出力を有し、信頼度の高い良否判定可能なmAオーダーIddqテスト手法を開発し、実製品にて効果を確認したので報告する。
社団法人電子情報通信学会の論文
2004-01-29

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