^16O^+注入Si基板の分光エリプソによるドーズ量見積り法
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概要
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分光エリプソによって,^16O^+注入されたSi基板中の酸素のドーズ量が見積もれることを見出した.そのポイントは,分光エリプソ測定における反射振幅比角(Ψ)-波長スペクトルの接線の傾きとドーズ量との相関関係を導くことである.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-01-01
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