B-24 マグネトロンスパッタリング法で作製したリン酸カルシウム薄膜の物性 : 第1報 赤外線急速加熱処理した薄膜のキャラクタリゼーション
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概要
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RFマグネトロンスパッタリング法によってTi基板上にコーティングされた厚み約2.5μmのリン酸カルシウム薄膜に, 300〜700℃の温度範囲内で赤外線急速加熱処理を施した.その結果, 加熱処理300, 400℃では未加熱処理同様にリン酸カルシウム薄膜はアモルファス構造であったが, 500℃以上で加熱処理すると薄膜は結晶化することが判明した.
- 日本歯科理工学会の論文
- 1996-09-05
著者
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