B-25 マグネトロンスパッタリング法で作製したリン酸カルシウム薄膜の物性 : 第2報 赤外線急速加熱処理による膜の溶解性の制御
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概要
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RFマグネトロンスパッタリング法を用いて, Ti基板上に厚さ約2.5μmのリン酸カルシウム薄膜をコーティングした試料に, 300〜700℃の赤外線急速加熱処理を施し, 擬似体液浸漬による膜の溶解性を検討すると同時に膜表面のSEM観察を行った。その結果, コーティング膜の溶解性は熱処理温度に大きく影響され、溶解性の小さな膜を得るためには600℃付近の急速加熱が最も適していることが明らかとなった。
- 日本歯科理工学会の論文
- 1996-09-05
著者
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