黒鉛炉原子吸光法によるフォトレジスト中のケイ素の定量
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概要
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フォトレジスト中のケイ素量を黒鉛炉原子吸光法で直接定量をするための測定条件を検討した.測定の際炉内に試料を注入する前にマトリックス修飾剤としてカルシウム溶液を注入することにより高感度化を図った.まずカルシウム溶液を炉に注入し乾燥後, 2-エトキシエチルアセテート(EEA)で樹脂量が3%になるように希釈した試料溶液の20μlを注入する.続いて最適加熱条件のもとでケイ素の吸光度を測定する.なお, 炉内標準添加法で定量する場合には, Ca溶液, Si標準液, 希釈試料の順に炉内に注入する.市販のポジ型フォトレジスト中のケイ素を測定した結果, 検出限界は0.02ngであり, 相対標準偏差(n=3)は5%以内であった.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1995-03-05
著者
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