炭素炉原子吸光法によるホトレジスト中の鉄の定量
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概要
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ホトレジスト中の超微量の鉄を炭素炉原子吸光法で直接定量をするための測定条件を検討した.試料を2-メトキシエタノール(ME)で希釈して調製した溶液の20μlを炭素炉に注入し, 灰化及び原子化曲線から最適化した炭素炉の加熱プログラムにより鉄の吸光度を測定した.定量法は, 鉄の標準液を炉内で乾燥後, 溶媒で希釈した試料をその上に添加する炉内標準添加法とした.市販のホトレジスト4種中の鉄を測定した結果, ME希釈溶液(樹脂濃度約3%)における検出限界は1ppbで, 相対標準偏差(n=3)は5%であった.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1993-07-05
著者
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