ロジウムK_αX線のコンプトン散乱X線の理論強度を用いる樹脂薄膜の膜厚測定

概要

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Rhターゲットを持つX線管から発生し, 試料によって散乱されるRh K_αコンプトン散乱X線の強度を理論的に計算し, これと測定強度との比較により樹脂薄膜の膜厚を決定する方法について検討した.X線強度の計算は, 測定されるRh K_αコンプトン散乱X線が, ターゲット物質の特性X線であるRh K_αのコンプトン散乱と連続X線のレイリー散乱及びそのコンプトン散乱から構成されているものとして行った.蛍光X線分析装置の元素感度係数を定めるための標準試料としてはバルク(塊)状のポリテトラフルオロエチレンを用いた.この方法によるポリエチレンやポリプロピレンなど樹脂薄膜の膜厚の定量値は, 接触式万能測長機による測定値4〜260μmに対して最大1μmの範囲で一致した.又, 鉄など無機元素を含む単層あるいは2層の樹脂薄膜の層の膜厚や含有成分の面積密度も定量したところ, これらの薄膜の膜厚も万能測長機の測定値214〜220μmに対してX線定量値は1〜5μmの範囲に, 更に, 成分の面積密度は公称値1mg/cm^2に対し0.01〜0.03mg/cm^2の範囲で一致した.
社団法人日本分析化学会の論文
1994-05-05