半導体レーザー多重反射吸収分光法によるガス中微量水分の定量

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概要

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• 近赤外波長域で発振するInGaAsP分布帰還型半導体レーザーを光源とし, 耐食性を有する多重反射サンプルセルを用いて窒素及び塩化水素ガス中微量水分の定量を試みた. 一般に, 可干渉距離が長い半導体レーザーと多重反射セルと組み合わせた場合, 多重反射により大きな干渉ノイズが生じ, 分析システムとしての測定感度を低下させる問題がある. 本研究では, 測定感度を高めるため, 半導体レーザーの特性や測定条件に合わせて多重反射セルの鏡間距離を調整した. これにより, 干渉ノイズの波長周期を吸収信号の線幅から分離させる. その上で, 多段移動平均処理によって光干渉ノイズの影響を除去し, 高感度な定量測定を実現した. 多重反射セルの吸収光路長を20mに設定した場合, 窒素ガス中の水分をppbオーダーまで実測することが可能となり, 検出下限は2.3 ppbであった.

• 2000-02-05

著者

• 竹内 延夫

  Kem:千葉大ceres

• 竹内 延夫

  千葉大学環境リモートセンシング研究センター

• 久世 宏明

  千葉大学環境リモートセンシング研究センター

• 呉 尚謙

  千葉大学環境リモートセンシング研究センター

• 竹内 延夫

  千葉大学 環境リモートセンシング研究センター

• 呉 尚謙

  日本酸素(株)つくば研究所

• 君島 哲也

  日本酸素(株)つくば研究所

• 増崎 宏

  日本酸素(株)

• 増崎 宏

  日本酸素(株)つくば研究所

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