投影エッジ相関法(2)LSI配線の自動プロービング
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概要
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自動プロービングへの応用を通して投影エッジ相関法の実用性の評価を行うことを目的として,投影エッジ相関法による電子ビーム(EB)自動位置決め処理をEBテスタに組み込み,LSI内部配線の自動プロービングを行った。本報告では,まず自動プロービングの構成を記し,次に測定シーケンスの正常動作の検証,位置決め精度・処理時間の評価を行った結果について述べる。
- 一般社団法人情報処理学会の論文
- 1992-09-28
自動プロービングへの応用を通して投影エッジ相関法の実用性の評価を行うことを目的として,投影エッジ相関法による電子ビーム(EB)自動位置決め処理をEBテスタに組み込み,LSI内部配線の自動プロービングを行った。本報告では,まず自動プロービングの構成を記し,次に測定シーケンスの正常動作の検証,位置決め精度・処理時間の評価を行った結果について述べる。