LSI 補修データチェックシステム

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概要

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計算機搭載部品の全LSI化に伴い、計算機の調整期間は.論理不良等の発生したLSIの対策期間に影響されるようになってきた.例えば、4層配線LSIの再試作には、マスク作成から完成まで数週間を必要とする.調整期間の長期化を防ぐ対策として、LSIチップに対しFIB(集束イオンピーム)とレーザCVD(化学気相成長)を使用して直接配線の切断、接続する技術を開発した.また、配線修正時における論理、実装情報の作成、検証を行う自動化システムを開発した。ここでは、自動化システムの中で、補修データのチェックを行うシステムについて報告する.
一般社団法人情報処理学会の論文
1991-02-25

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