LSI 補修データ作成支援システム
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概要
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計算機搭載部品の全LSI化に伴い、計算機の調整期間は、論理不良等の発生したLSIの対策期間に影響されるようになってきた.このため、LSIチツプ上面でFIB(集束イオンピーム)とレーザCVD (化学気相成長)を使用して直接配線の切断接続を行い論理不良を修正(補修)する技術を開発した。しかし、LSIチツプ上面で切断、接続を行うため、CCB(Controlled Collapsed Bondlng)や配線バターン等の障害物のない場所しか修正することができない。また、論理不良の修正方法は論理設計者が輸理図で考えるため、LSIチップ上の障害物等を考慮することができない。このため、論理設計者に対し修正箇所の補修可否を教えるシステムを開発した。
- 一般社団法人情報処理学会の論文
- 1991-02-25