高分解能スピン偏極走査電子顕微鏡(スピンSEM)の開発

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概要

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• A high-resolution spin SEM was developed. A newly designed compact secondary-electron collector and a high-efficiency spin detector enabled us to obtain a fine probe beam and to reduce the mechanical vibration of a sample against the electron gun column. These achievement were essential in order to obtain high spatial resolution. Observation of the narrow magnetic domain wall of SmCo_5 with the spin SEM confined that the resolution was as high as 5 nm.

• 社団法人日本磁気学会の論文
• 2002-05-01

著者

• 孝橋 照生

  日立中研

• 小池 和幸

  北海道大学理学部

• 孝橋 照生

  日立製作所 基礎研究所

• 小池 和幸

  日立製作所 基礎研究所

• 小池 和幸

  日立製作所基礎研究所

• 小池 和幸

  日立製作所中央研究所

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