22pA3 シリコン融体の粘性率測定(バルク成長シンポジウム)
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概要
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Viscosity of molten silicon has been measured by using an oscillating viscometer in the temperature range up to 18 80K including supercooled temperatures. Cylindrical crucible made of different materials were used to study the effect of the materials. Viscosities obtained show good linearity in Arrhenius type plot even in the suoercooled temperatures, and no abnormal temperature dependence was found. The absolute value at the melting point is about 0.58mPa s.
- 日本結晶成長学会の論文
- 1999-07-01
著者
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