プラズマを用いた金属薄膜作製における初期成長過程の観察

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1982-07-15

著者

• 大塚 直夫

  青学大・理工

• 澤邊 厚仁

  青学大・理工

• 鈴木 一博

  青学大・理工

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