GaAs液相エピ成長層への高純度H_2ガス中残留酸素の影響 : エピタキシー (LPE)

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1976-06-25

著者

• 石井 恂

  三菱電機

• 須崎 渉

  三びし電機

• 石井 恂

  三菱電気中研

• 菅 博文

  三菱電気中研

• 須崎 渉

  三菱電気中研

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