蒸気圧制御液相エピタキシャル法によるストイキオメトリー制御 : エピタキシー (LPE)

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1976-06-25

著者

• 小林 裕

  東北大・通研

• 西沢 潤一

  東北大・通研

• 奥野 保男

  半導体研

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