気相からのGaN単結晶の成長 : バルク成長シンポジウム

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概要

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• The growth of single crystals from a vapor phase has been tried. GaN were synthesized from nitrogen gas activated by microwave and gallium vapor. Synthesized GaN thin film on a sapphire substrate was oriented to <0001> orientation. By Optimizing the power of microwave Small GaN single crystal having diameter of 30μm were obtained.

• 日本結晶成長学会の論文
• 2000-07-01

著者

• 龍見 雅美

  住友電気工業(株)伊丹研究所半導体材料研究部

• 草尾 幹

  住友電気工業(株)伊丹研究所

• 弘田 龍

  住友電気工業(株)伊丹研究所

• 龍見 雅美

  住友電気工業(株)伊丹研究所

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