Mo(110)表面上に蒸着されたSiのRHEED観察
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概要
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Surface structure and growth of Si deposited on a Mo(110)single crystal substrate were investigated by reflection high energy electron diffraction. Several kinds of surface structures of Si on the Mo substrate were observed according to the changes of film thickness and substrate temperature. In this time, we will mainly report surface. structures and growth features observed at low substrate temperature.
- 日本結晶成長学会の論文
- 1997-07-01
著者
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