CZ Si 結晶中の grown-in 赤外散乱体の TEM 観察 : バルク結晶成長シンポジウムII

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1996-07-10

著者

• 池田 泰弘

  信越半導体(株)半導体磯部研究所

• 加藤 正弘

  信越半導体(株)半導体磯部研究所

• 北川原 豊

  信越半導体(株)半導体磯部研究所

• 北川原 豊

  信越半導体(株)

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