CZシリコン中の Grown-in 欠陥が引き起こすMOSキャパシタの低電界破壊

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概要

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• 1997-12-04

著者

• 北川原 豊

  信越半導体(株)

• 玉塚 正郎

  信越半導体(株)

• ラジムスキイ ブシェク

  信越半導体(株)

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