両面研磨したSiウエハー基板上のポリフッ化ビニリデン蒸着膜成長初期の赤外反射・透過スペクトル : 薄膜成長II
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 1995-07-10
著者
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馬来 国弼
横浜市立大学理学部・大学院総合理学研究科
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馬来 国弼
横浜市大
-
馬来 国弼
横浜市大理
-
瀬山 秀夫
横浜市大,大学院総合理学
-
瀬山 秀夫
大学院総合理学
-
瀬山 秀夫
横浜市大 大学院総合理学
-
馬来 国弼
横浜市立大文理
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