FZ法のための高周波発振機出力安定化装置の開発
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概要
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An output stabilizer of r.f. generator was developed for the preparation of single crystals by floating zone method. The stablizer consisted mainly of a micro-computer and two digital voltmeters. The voltmeters were used for measurements of the anode voltage and the r.f. current. The anode voltage was controlled by feed back, using the computer. The stability of r.f. current consequently increased by one order of magnitude (0.03%).
- 日本結晶成長学会の論文
- 1989-07-05
著者
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