LPEガーネット厚膜育成時に生じる反りと割れ
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 1988-07-10
著者
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中島 和宏
住友金属鉱山(株)電子材料研究所
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石川 治男
住友金属鉱山株式会社電子事業本部技術センター
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石川 治男
住友金属鉱山(株)電子材料研究所
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石川 治男
住友金属鉱山(株)生産技術部
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町田 克己
住友金属鉱山(株)電子材料研究所
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能見 育孝
住友金属鉱山(株)電子材料研究所
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