高周波グロー放電法による硬質炭素薄膜の作製
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 1986-07-10
著者
-
町 好雄
東京電機大学大学院先端科学技術研究科:東京電機大学、工学部人体科学研究室
-
町 好雄
東京電機大学工学部
-
町 好雄
東京電機大・院先端科学技術
-
六倉 信喜
東京電機大・工
-
小林 健二
東京電機大・工
-
山本 貴世幸
東京電機大・工
-
小林 健二
東京電機大 工
-
山本 貴世幸
東京電機大 工
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