2902 SU-8 フォトレジストの超精密切削加工
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概要
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This study describes the basic research on an ultra-precision diamond cutting of SU-8 photo regists for a micro device such as electrophoretic chip. Micro machining technology of etching or lithography is applied to produce the nano-bio chip for DNA mapping. Manufacturing the high-performance device by the combination of the diamond cutting (SPDT) and the lithography technologies is aimed. The basic machinability of SU-8 in the diamond cutting is investigated based on the experiments and discussed. The surface roughness of 80nm (Ry) was obtained and the availability of the diamond cutting was found.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2003-08-05
著者
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