2804 微細形状測定プローブの開発 : システム構成と発現性能
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概要
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This paper presents a new micro-roughness measuring probe which uses a longitudinal tapping mode by an ultrasonic vibration sensor. The sensor controlled by a measuring force control system including a fine and a coarse servo driving mechanism realize non-destructive, accurate and rapid measurement. The measuring force is 0.3μN-750μN, and the two servo driving mechanisms realize a quick response and wide measuring range. Step height standard calibrated by VLSI Standard is measured by this probe with nm resolution.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2002-09-20
著者
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