2537 スリットを用いた機能的連続体とその応用研究
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概要
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The functional object manufactured in one continuity is called as the functional continuum. In this paper, the technique using a slit to create the functional continuum is studied. The dynamic response of beam introducing a slit is analyzed by the FEM. The technique adjusting the micro-displacements in the X-Y stage of a microscope using the slits is presented.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2002-09-20
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