110 変位制御型ナノインデンテーション試験機の開発に関する研究

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概要

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• Nanoindentation tester had been made which had a loading system with a displacement-controlled PZT actuator. Vibration amplitude of the tester was a half of that in a load controlled tester. Loading curves measured at some loads were nearly a quadratic curve which was theoretically derived for the elastic indentation of axisymmetric indenter. In a nanoindentation test at 100mgf applied load, the penetration depth of the displacement controlled tester was 12nm larger than that of a load controlled tester, where as penetration depth values measured at 10gf by using both the testers were nearly same.

• 社団法人日本機械学会の論文
• 2003-09-19

著者

• 金成 守康

  茨城高専

• 高根澤 大松

  茨城高専専攻科

• 大内 直樹

  茨城高専

• 田山 祐介

  茨城高専

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