903 空気圧シリンダのサブミクロン精度での中間位置停止に関する研究
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概要
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Pneumatic cylinder is recently becoming widely used in factory automation and for manpower reduction. The typical characteristic of the pneumatic cylinder is the time lag of motion because of the compressibility of air. In consequence, it is considered very difficult to precisely control at intra-stroke target point. The purpose of this study is to demonstrate on sub-micron control of position holding under disturbance in using with single-port type solenoid-operated valves and labyrinth-type seal cylinder. As the result, the control methods that enable to hold the position with high precision of 0.1μm are shown.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2001-09-20
著者
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