213 空気圧シリンダの外乱に対するサブミクロン精度での位置保持制御に関する実験的研究
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概要
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Pneumatic cylinder is recently becoming widely used in factory automation and for manpower reduction. The typical characteristic of the pneumatic cylinder is relating the compressibility of air. In consequence, it is considered very difficult to precisely control at desire intra-stroke target point. The purpose of this study is to demonstrate on sub-micron control of position holding under disturbance in using with single-port type electromagnetic solenoid valves and labyrinth-type seal cylinder. As the result, this study showed the methods that enable to hold the position with high precision 0.1μm, And to control for high speed precise positioning.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2000-09-08
著者
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