511 フォトリソグラフィー法によって製作した分散系ER流体用3ポートマイクロERバルブ(O.S.5-3 ER流体)(O.S.5 機能性流体とシステム化)

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概要

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• 2001-09-28

著者

• 中野 政身

  山形大工

• 佐藤 聡

  山形大工

• 加藤 輝雄

  山形大院

• 松下 浩一

  山形大工

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