243 応力波を利用した多層膜の膜厚と膜物性の同時同定(OS09-2 逆問題解析手法の開発と最新応用(2))(OS09 逆問題解析手法の開発と最新応用)

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概要

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• 社団法人日本機械学会の論文
• 2001-11-27

著者

• 青木 繁

  東洋大学 コンピュテーショナル工学科

• 天谷 賢治

  東工大

• 工藤 智

  東工大院理工

• 青木 繁

  東洋大

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