324 非球面レンズ、ウェーハの超高精度測定技術
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概要
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These days Aspheric Lens is much used in a variety of areas such as Visual, Information and Medical Instruments et al., and it is getting more complex and high accurate. This paper describes Ultrahigh Accurate Measurement Technology supporting development and production of Aspheric Lens and application of this technology in measurement of Wafer for next generation mass-storage semiconductor.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2000-11-20
著者
-
久保 圭司
松下電気産業(株)
-
半田 宏治
松下電器産業株式会社映像音響情報研究所
-
吉住 恵一
松下電器
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竹内 博之
松下電器産業株式会社
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吉住 恵一
松下電器産業株式会社
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半田 宏治
松下電気産業(株)
-
半田 宏治
松下電器産業(株)高度生産システム開発カンパニー
-
久保 圭司
松下電器産業(株)
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