(15)Direct Bonding between Aluminum and Silicon by the Formation of Hydrogen Bonds

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 1999-05-05

著者

• 永久保 雅夫

  (株)デンソー基礎研究所

• 鈴木 晴視

  (株)デンソー

• 服部 正

  (財)マイクロマシンセンター

• 永久保 雅夫

  (株)デンソー 機能材料研究部

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