超音波ワイヤボンダの振動特性について : 第2報, キャピラリ先端が接触振動する場合
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概要
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In order to clarify vibration characteristics of the horn and capillary system of an ultrasonic wire-bonder, measurements of resonance frequency and mode were carried out with the capillary-tip lightly pressed on simulated work pieces. The results were compared with those in the case of the capillary-tip free, obtained by the previous study, and differences caused by the contact of the capillary-tip with simulated work pieces were made clear. Present and previous results were also considered by theoretical analysis of natural vibration based on a model treating the horn and capillary as beams with tapered portions, and assuming that they were connected at one point.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2001-09-25
著者
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岩清水 幸夫
立命館大
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生駒 和也
立命館大
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佐々木 崇
日立建機(株)土浦事業本部大型開発設計センター
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岩清水 幸夫
立命館大学理工学部
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生駒 和也
ローム(株)LSIシステム技術部
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下島 隆
(株)トヨタテクノサービスデジタルエンジニアリング部
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岩清水 幸夫
立命館大学
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