超音波ワイヤボンダの振動特性について : キャピラリ先端が自由の場合
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概要
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Vibration characteristics of the horn and capillary system of an ultrasonic wire-bonder were studied experimentally under the condition that the capillary-tip was free. The wire-bonder used was a 65 kHz type, and a laser doppler vibrometer was used to measure the velocity of vibration. At first, variations of the resonance frequency due to the capillary length were measured, and two branches of the frequency were confirmed. Then, the mode of the horn and capillary system was measured at different resonance conditions, and vibration characteristics of the frequency branches were made clear. Finally, these results were considered by theoretical analysis based on a simplified model of the horn and capillary system.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2000-07-25
著者
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岩清水 幸夫
立命館大
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生駒 和也
立命館大
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佐々木 崇
日立建機(株)土浦事業本部大型開発設計センター
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岩清水 幸夫
立命館大学理工学部
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生駒 和也
ローム(林)LSIシステム技術部
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佐々木 崇
立命館大学大学院
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岩清水 幸夫
立命館大学
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