RFマグネトロンスパッタリング法を用いたクロム酸鉛結晶薄膜の作製
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概要
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Crystalline thin films of lead chromates, Pb_<1+x>CrO_<4+x>(0≦x≦1) could be prepared by RF-magnetron sputtering using a PbCrO_4 target under the atmosphere of 3Pa Argon and 1 Pa oxygen. The chromates formed were composed of PbCrO_4 and Pb_2CrO_5,and the relative compositions of the two phases changed rather sensitively with a change in RF power and substrate temperature. A single phase of PbCrO_4 (x=0) was formed when both the power and the temperature were low, (eg ; 100 W and 300℃), while that of Pb_2CrO_5 (x=1) was under the opposite conditions (eg ; 200 W and 550℃), with the mixture being obtained under the intermediate conditions.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 2002-02-01
著者
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