交互電極型積層圧電アクチュエータの耐湿性と変位特性

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る

• The structure of piezoelectric multilayer actuator with interdigital-electrode-type structure was investigated in order to improve both its moisture-resistance and displacement. The moisture-resistance was affected by the number of ceramic layers and by the shape of its internal electrode as well. An actuator with 20 layers in which the length of the inactive electrostrictively part was 0.6 mm showed high moisture-resistance, and generated 1.7 μm in displacement at DC 150 V. In addition, it was also observed that inhomogeneous sintering reaction in the actuator affects its moisture-resistance.

• 社団法人日本セラミックス協会の論文
• 1999-10-01

著者

• 渡辺 純一

  日立金属(株)先端エレクトロニクス研究所

• 染次 孝博

  日立金属(株)

• 渡辺 純一

  日立金属(株)磁性材料研究所

• 染次 孝博

  日立金属(株)生産システム研究所

• 定村 茂

  日立金属(株)鳥取工場

関連論文

• SiO_2とC混合物からのSiC粉体のYAGレーザー合成
• エアロゾルデポジッション法により作製したPNN-PT-PZ系圧電体厚膜に及ぼす原料粉の影響
• エアロゾルデポジッション法により作製したPNN-PT-PZ系圧電体厚膜に及ぼす原料粉の影響
• 鋳物表面粗さ光学的測定法の研究
• 3次元形状を有する鋳物表面粗さ光学式測定法の開発
• 3次元鋳物製品表面粗さの光学式インライン自動計測法の開発
• 画像処理による鋳物のきず自動検出法の開発
• 交互電極型積層圧電アクチュエータの耐湿性と変位特性
• OF4 交互電極型積層圧電アクチュエータの検討(強力超音波,口頭発表)
• 鋳物部品表面の凹状欠陥自動検出システムの開発

スポンサーリンク