ウッドセラミックスから成形したマグネトロンスパッタリングによる炭素膜の特性

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概要

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• Highly resistant, high-transmitance woodceramic thin films were prepared using rf magnetron sputtering of a woodceramic disk in argon plasma. A film series was deposited based on substrate temperature, which was veried from 50 to 500℃. The film's electrical and optical properties depended on substrate temperature. Films deposited below 300℃ were insulative, p>10^<10> Ω・cm. Films deposited at 50℃ had a density of 1.9-2.2g/cm^3 comparable to that of single crystal graphite. Below 200℃, films had higher transmittance than typical DLC films in the visible and infrared region. Infrared C-H absorption spectrum was observed by FT-IR and there exist two types of bonding corresponding to sp^2 or sp^3.

• 社団法人日本セラミックス協会の論文
• 1999-08-01

著者

• 柴田 清孝

  茨城職業能力開発短期大学校電子技術科

• 遠藤 裕之

  青森職業能力開発短期大学校電子技術科

• 葛西 清和

  青森職業能力開発促進センター

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