窒化ジルコニウムスパッタ膜の性質 : 薄膜

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 社団法人日本物理学会の論文
• 1969-03-30

著者

• 伊藤 昭夫

  電総研

• 柏原 泰治

  電試・田無

• 伊藤 昭夫

  電試・田無

• 三沢 俊司

  電試・田無

関連論文

• 窒化ジルコニウムスパッタ膜の性質 : 薄膜
• 炭化物エミッタ-の電子放射と表面--TiC単結晶を中心として
• 高周波プラズマ帯溶融装置の試作 : FZ・CZ法
• 化成蒸着による化合物薄膜の生成反応の研究 (高温電子材料特集)
• TiC単結晶(新結晶・新物質)
• 6a-L-9 鉛および窒化物薄膜の超伝導性(I)
• 高周波化成スパッタリングによるA1N薄膜の作製ならびにその性質について
• 11p-K-1 XPSによるTiC の状態密度

スポンサーリンク