絶縁物基板Si気相成長 : 半導体(結晶成長)

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1966-03-31

著者

• 石井 孝

  三菱電機中央研究所

• 林 次郎

  三菱電機中研

• 柳瀬 正人

  三菱電機中研

• 伊藤 昭子

  三菱電機中研

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