Si表面酸化層におけるleakageの問題 : 半導体 : 結晶成長

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1965-10-10

著者

• 増田 正美

  東工大

• 竹田 繁

  東工大

• 千坂 治雄

  都ア研

• 増田 正美

  高エ研

• 竹田 繁

  高エネルギー研

• 盛田 英一

  防大

• 盛田 英一

  防衛大

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