4a-A-11 拡散によって誘発されたSi中の欠陥

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1963-04-04

著者

• 伊野 弘行

  富士通

• 河村 豊作

  富士通IC技術部

• 安福 真民

  富士通研究所

• 河村 豊作

  富士通研究所

• 伊野 弘行

  富士通研究所

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